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首頁產(chǎn)品中心 AOI設(shè)備半導(dǎo)體檢測設(shè)備

半導(dǎo)體檢測設(shè)備

Micro-LED 晶圓AOI檢測

主要檢測 Micro LED晶圓外觀缺陷：爆點、雙晶、劃傷、壓傷、Sio2 脫/ITO 脫、背鍍偏薄，缺失、多金、發(fā)光區(qū)不良、黑點、切偏、無針痕等

Mini-LED 晶圓AOI檢測

主要檢測MiniLED晶圓外觀缺陷：爆點、雙晶、劃傷、壓傷、Sio2 脫/ITO 脫、背鍍偏薄、崩邊崩角、發(fā)光區(qū)污染、多金、發(fā)光區(qū)不良、黑點、切偏、無針痕等缺陷

TGV 玻璃基板AOI檢測

主要檢測TGV微孔的孔徑大小，通孔有無，通斷、裂紋、漏點以及不通、孔內(nèi)異物、玻璃渣、臟污、劃痕、盲孔、崩邊，裂紋，表面Particle等缺陷，以及通孔中心孔徑，通孔圓度。

SiC晶圓襯底/EPI缺陷檢測

主要檢測SiC晶圓襯底片和同質(zhì)外延片：劃痕、小坑、凸起、污漬、微管(MP)、層錯(SF)、位錯等缺陷

COT&COW光學(xué)檢測設(shè)備

該設(shè)備為切割相關(guān)工藝提供專用的檢測和計量解決方案，專用的碎裂檢測算法可確保芯片的完整性，解決隱形和等離子切割等新切割技術(shù)側(cè)壁裂紋是致命缺陷。

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